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半导体光刻胶反应釜防爆模温机案例
来源: | 发布日期:2025-08-06
案例介绍

光刻胶是一种高分子化合物,主要应用于微电子制造领域的光刻工艺。在微电子制造过程中,光刻胶具有广泛用途,可用于芯片、光学器件及MEMS(微机电系统)等微型器件的制造。本案例客户属于半导体材料行业。

针对光刻胶反应釜的控温需求,工艺要求温度维持在150℃。由于反应过程中会产生放热现象,因此需要配备冷却系统。设计方案采用1平方米板式换热器进行温度控制。

案例地点

四川乐山

选用设备
  • 产品名称:防爆模温机
  • 机器型号:EUOCBF
  • 设备功率:6KW
  • 功能配置:整机隔离式防爆 EXdII BT4,PLC编程控制,带冷却。
案例现场

【本文标签】 反应釜防爆模温机

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